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`
`(57)【要約】
`【課題】真空乾燥を最適な状態で完了させる。
`【解決手段】真空乾燥装置１は、乾燥炉１１、圧力測定
`部１２、判定部１３、真空乾燥制御部１４、および判断
`部１５を備え、乾燥炉１１内に配置された電池電極を真
`空乾燥させる。圧力測定部１２は、乾燥炉１１内の圧力
`を測定する。判定部１３は、圧力測定部１２により測定
`された圧力が目標圧力以下になったか否かを判定する。
`真空乾燥制御部１４は、圧力測定部１２により測定され
`た圧力が目標圧力以下になったと判定部１３により判定
`された後に、第１の時間に亘って真空乾燥を継続させる
`。判断部１５は、第１の時間が経過した後に圧力測定部
`１２により測定された圧力が目標圧力以下であると判定
`部１３により判定されると、電池電極の真空乾燥が完了
`したと判断する。
`【選択図】図１
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`【特許請求の範囲】
`【請求項１】
` 乾燥炉内に配置された被乾燥物を真空乾燥させる真空乾燥装置であって、
` 前記乾燥炉内の圧力を測定する圧力測定手段と、
` 前記圧力測定手段により測定された圧力が予め定められた目標圧力以下または当該目標
`圧力未満まで低下したか否かを判定する判定手段と、
` 前記圧力測定手段により測定された圧力が前記目標圧力以下または当該目標圧力未満ま
`で低下したと前記判定手段により判定された後に、予め定められた第１の時間に亘って真
`空乾燥を継続させる真空乾燥制御手段と、
` 前記第１の時間が経過した後に前記圧力測定手段により測定された圧力が、前記目標圧
`力以下または当該目標圧力未満まで低下したと前記判定手段により判定されると、前記被
`乾燥物の真空乾燥が完了したと判断する判断手段と、
` を備えることを特徴とする真空乾燥装置。
`【請求項２】
` 前記被乾燥物の真空乾燥を開始してからの時間を測定する計時手段を備え、
` 前記計時手段により測定された時間が予め定められた第２の時間を経過するまでの期間
`では、前記判定手段による判定を休止することを特徴とする請求項１に記載の真空乾燥装
`置。
`【請求項３】
` 真空乾燥の完了後に前記被乾燥物が配置される環境のことを所定環境とすると、当該所
`定環境における露点での飽和水蒸気圧より低い圧力を前記目標圧力として設定することを
`特徴とする請求項１または２に記載の真空乾燥装置。
`【請求項４】
` 前記所定環境における露点（摂氏）をｔとするとともに、予め定められた定数をａ、ｂ
`とすると、前記所定環境における露点での飽和水蒸気圧ｅを以下の数式（１）で求めるこ
`とを特徴とする請求項３に記載の真空乾燥装置。
`【数１】
`
`【請求項５】
` 前記所定環境における露点での飽和水蒸気圧よりどれだけ低い圧力に前記目標圧力を設
`定するのかを、前記被乾燥物の材質に応じて決定することを特徴とする請求項３または４
`に記載の真空乾燥装置。
`【請求項６】
` 前記判定手段は、前記圧力測定手段により測定された圧力に基づいて、前記真空乾燥装
`置の異常検出を行い、当該異常があると判定した場合には、異常を指示する出力を行うこ
`とを特徴とする請求項１から５のいずれか１つに記載の真空乾燥装置。
`【請求項７】
` 前記被乾燥物は、電池電極であることを特徴とする請求項１から６のいずれか１つに記
`載の真空乾燥装置。
`【請求項８】
` 請求項１から７のいずれか１つに記載の真空乾燥装置と、当該真空乾燥装置による真空
`乾燥の完了後に前記被乾燥物が配置されるドライルームと、を備える真空乾燥システムで
`あって、
` 前記判断手段により前記被乾燥物の真空乾燥が完了したと判断された後に、当該被乾燥
`物を前記乾燥炉から前記ドライルームに移送することを特徴とする真空乾燥システム。
`【請求項９】
` 乾燥炉内に配置された被乾燥物を真空乾燥させる真空乾燥方法であって、
` 前記乾燥炉内の圧力を測定する第１のステップと、
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` 前記第１のステップにより測定された圧力が予め定められた目標圧力以下または当該目
`標圧力未満まで低下したか否かを判定する第２のステップと、
` 前記第１のステップにより測定された圧力が前記目標圧力以下または当該目標圧力未満
`まで低下したと前記第２のステップで判定された後に、予め定められた第１の時間に亘っ
`て真空乾燥を継続させる第３のステップと、
` 前記第１の時間が経過した後に、前記乾燥炉内の圧力を測定する第４のステップと、
` 前記第４のステップにより測定された圧力が前記目標圧力以下または当該目標圧力未満
`まで低下したか否かを判定する第５のステップと、
` 前記第４のステップにより測定された圧力が前記目標圧力以下または当該目標圧力未満
`まで低下したと前記第５のステップで判定されると、前記被乾燥物の真空乾燥が完了した
`と判断する第６のステップと、
` 前記第６のステップにより真空乾燥が完了したと判断された被乾燥物を、所定環境に調
`整された領域に前記乾燥炉から移送する第７のステップと、
` を備えることを特徴とする真空乾燥方法。
`【請求項１０】
` 前記被乾燥物の真空乾燥を開始してからの時間を測定する第８のステップをさらに備え
`
`、
`
`前記第８のステップにより測定された時間が予め定められた第２の時間を経過するまで
`の期間では、前記第２のステップによる判定を休止することを特徴とする請求項９に記載
`の真空乾燥方法。
`【請求項１１】
` 前記所定環境における露点での飽和水蒸気圧より低い圧力を前記目標圧力として設定す
`ることを特徴とする請求項９または１０に記載の真空乾燥方法。
`【請求項１２】
` 前記所定環境における露点（摂氏）をｔとするとともに、予め定められた定数をａ、ｂ
`とすると、前記所定環境における露点での飽和水蒸気圧ｅを以下の数式（２）で求めるこ
`とを特徴とする請求項１１に記載の真空乾燥方法。
`【数２】
`
`【請求項１３】
` 前記所定環境における露点での飽和水蒸気圧よりどれだけ低い圧力に前記目標圧力を設
`定するのかを、前記被乾燥物の材質に応じて決定することを特徴とする請求項１１または
`１２に記載の真空乾燥方法。
`【請求項１４】
` 前記第２のステップにおいて、前記第１のステップにより測定された圧力に基づいて、
`前記被乾燥物を真空乾燥させる真空乾燥装置の異常検出を行うことを特徴とする請求項９
`から１３のいずれか１つに記載の真空乾燥方法。
`【請求項１５】
` 前記被乾燥物は、電池電極であることを特徴とする請求項９から１４のいずれか１つに
`記載の真空乾燥方法。
`【請求項１６】
` 乾燥炉内に配置された電池電極を真空乾燥させる電池電極の製造方法であって、
` 前記乾燥炉内の圧力を測定する第１のステップと、
` 前記第１のステップにより測定された圧力が予め定められた目標圧力以下または当該目
`標圧力未満まで低下したか否かを判定する第２のステップと、
` 前記第１のステップにより測定された圧力が前記目標圧力以下または当該目標圧力未満
`まで低下したと前記第２のステップで判定された後に、予め定められた第１の時間に亘っ
`て真空乾燥を継続させる第３のステップと、
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` 前記第１の時間が経過した後に、前記乾燥炉内の圧力を測定する第４のステップと、
` 前記第４のステップにより測定された圧力が前記目標圧力以下または当該目標圧力未満
`まで低下したか否かを判定する第５のステップと、
` 前記第４のステップにより測定された圧力が前記目標圧力以下または当該目標圧力未満
`まで低下したと前記第５のステップで判定されると、前記電池電極の真空乾燥が完了した
`と判断する第６のステップと、
` 前記第６のステップにより真空乾燥が完了したと判断された電池電極を、所定環境に調
`整された領域に前記乾燥炉から移送する第７のステップと、
` を備えることを特徴とする電池電極の製造方法。
`【発明の詳細な説明】
`【技術分野】
`【０００１】
` 本発明は、真空乾燥装置、真空乾燥システム、真空乾燥方法、および電池電極の製造方
`法に関する。
`【背景技術】
`【０００２】
` 従来、被乾燥物を真空乾燥させる技術が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
`【先行技術文献】
`【特許文献】
`【０００３】
`【特許文献１】特開２００５−１４０５３６号公報
`【発明の概要】
`【発明が解決しようとする課題】
`【０００４】
` 特許文献１に示されている方法や、特許文献１に記載の文献に示されている方法は、真
`空乾燥の終了を精度よく判定して、過乾燥および乾燥不足の発生を抑制することを目的と
`している。このように、真空乾燥を最適な状態で終了させるという課題は従来からあるも
`のの、現在においても様々な改良がなされており、真空乾燥の完了を判定する技術として
`は、満足するものがなかった。特に、リチウムイオン電池といった二次電池の電極を乾燥
`させる場合には、電極を十分に乾燥できていないと、その電極を用いて製造される電池が
`、電池としての所望の性能を発揮できないおそれがあった。
`【０００５】
` そこで、本発明は、上記の課題に鑑みてなされたものであり、真空乾燥を最適な状態で
`完了させることを目的とする。
`【課題を解決するための手段】
`【０００６】
` 本発明は、上述の課題を解決するために、以下の事項を提案している。なお、理解を容
`易にするために、本発明の実施形態に対応する符号を付して説明するが、これに限定され
`るものではない。
`【０００７】
` （１） 本発明は、乾燥炉（例えば、図１の乾燥炉１１に相当）内に配置された被乾燥
`物（例えば、後述の電池電極に相当）を真空乾燥させる真空乾燥装置（例えば、図１の真
`空乾燥装置１に相当）であって、前記乾燥炉内の圧力を測定する圧力測定手段（例えば、
`図１の圧力測定部１２に相当）と、前記圧力測定手段により測定された圧力が予め定めら
`れた目標圧力以下または当該目標圧力未満まで低下したか否かを判定する判定手段（例え
`ば、図１の判定部１３に相当）と、前記圧力測定手段により測定された圧力が前記目標圧
`力以下または当該目標圧力未満まで低下したと前記判定手段により判定された後に、予め
`定められた第１の時間に亘って真空乾燥を継続させる真空乾燥制御手段（例えば、図１の
`真空乾燥制御部１４に相当）と、前記第１の時間が経過した後に前記圧力測定手段により
`測定された圧力が、前記目標圧力以下または当該目標圧力未満まで低下したと前記判定手
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`段により判定されると、前記被乾燥物の真空乾燥が完了したと判断する判断手段（例えば
`、図１の判断部１５に相当）と、を備えることを特徴とする真空乾燥装置を提案している
`
`。 【
`
`０００８】
` この発明によれば、圧力測定手段により、乾燥炉内の圧力を測定することとした。また
`、判定手段により、圧力測定手段により測定された圧力が目標圧力以下または目標圧力未
`満まで低下したか否かを判定することとした。また、真空乾燥制御手段により、圧力測定
`手段により測定された圧力が目標圧力以下または目標圧力未満まで低下したと判定手段に
`より判定された場合に、第１の時間に亘って真空乾燥を継続させることとした。このため
`、乾燥炉内の圧力が目標圧力以下または目標圧力未満まで低下したと判定された後も、第
`１の時間に亘って真空乾燥が継続されるので、目標圧力の設定精度に大きく左右されるこ
`となく、乾燥不足の発生を抑制することができる。
`【０００９】
` また、この発明によれば、第１の時間を設定することで、真空乾燥を行っている時間が
`過度に長期化してしまうのを防止して、過乾燥の発生を抑制することができる。
`【００１０】
` また、この発明によれば、判断手段により、第１の時間が経過した後に圧力測定手段に
`より測定された圧力が、目標圧力以下または目標圧力未満まで低下したと判定手段により
`判定されると、被乾燥物の真空乾燥が完了したと判断することとした。このため、第１の
`時間に亘って真空乾燥が継続されている期間において、不測の事態により乾燥不足の状態
`に被乾燥物がなってしまった際には、被乾燥物の真空乾燥が完了していないと判断するこ
`とができ、乾燥不足であるにもかかわらず真空乾燥が完了したと誤って判断してしまうの
`を防止することができる。
`【００１１】
` （２） 本発明は、（１）の真空乾燥装置について、前記被乾燥物の真空乾燥を開始し
`てからの時間を測定する計時手段（例えば、図３の計時部１６に相当）を備え、前記計時
`手段により測定された時間が予め定められた第２の時間を経過するまでの期間では、前記
`判定手段による判定を休止することを特徴とする真空乾燥装置を提案している。
`【００１２】
` この発明によれば、（１）の真空乾燥装置において、計時手段により、被乾燥物の真空
`乾燥を開始してからの時間を測定し、計時手段により測定された時間が第２の時間を経過
`するまでの期間では、判定手段による判定を休止することとした。このため、第２の時間
`を設定することで、被乾燥物の真空乾燥が完了していないことが確実に分かっている期間
`では、判定手段による判定を休止することができる。
`【００１３】
` （３） 本発明は、（１）または（２）の真空乾燥装置について、真空乾燥の完了後に
`前記被乾燥物が配置される環境のことを所定環境（例えば、図１のドライルーム２に相当
`）とすると、当該所定環境における露点での飽和水蒸気圧より低い圧力を前記目標圧力と
`して設定することを特徴とする真空乾燥装置を提案している。
`【００１４】
` この発明によれば、（１）または（２）の真空乾燥装置において、真空乾燥の完了後に
`被乾燥物が配置される環境のことを所定環境とすると、所定環境における露点での飽和水
`蒸気圧より低い圧力を目標圧力として設定することとした。このため、真空乾燥の完了の
`判断基準となる目標圧力の設定精度を向上させることができるので、乾燥不足の発生をよ
`り確実に抑制することができるとともに、真空乾燥を継続させる第１の時間を短縮するこ
`とができる。
`【００１５】
` また、目標圧力を適宜設定する手順と、真空乾燥完了後の被乾燥物に含まれる水分量を
`測定したり被乾燥物の性能を評価したりする手順と、を繰り返すことによって、目標圧力
`の最適値を見つけることが考えられる。そこで、この発明によれば、（１）または（２）
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`の真空乾燥装置において、所定環境における露点での飽和水蒸気圧より低い圧力を目標圧
`力として設定することとした。このため、目標圧力の最適値を見つける際に、所定環境に
`おける露点での飽和水蒸気圧を目安として目標圧力の初期値を設定することができる。し
`たがって、目安がない状態で目標圧力の初期値を設定する場合と比べて適切な値を、目標
`圧力の初期値として設定することができるので、上述の２つの手順を繰り返す回数を減少
`させることができ、目標圧力の最適値を短時間に見つけることができる。
`【００１６】
` （４） 本発明は、（３）の真空乾燥装置について、前記所定環境における露点（摂氏
`）をｔとするとともに、予め定められた定数をａ、ｂとすると、前記所定環境における露
`点での飽和水蒸気圧ｅを以下の数式（１）で求めることを特徴とする真空乾燥装置を提案
`している。
`【００１７】
`【数１】
`
`【００１８】
` この発明によれば、（３）の真空乾燥装置において、ｔｅｔｅｎｓの式として知られて
`いる上述の数式（１）により、所定環境における露点での飽和水蒸気圧を、複雑な方法を
`用いることなく求めることができる。
`【００１９】
` （５） 本発明は、（３）または（４）の真空乾燥装置について、前記所定環境におけ
`る露点での飽和水蒸気圧よりどれだけ低い圧力に前記目標圧力を設定するのかを、前記被
`乾燥物の材質に応じて決定することを特徴とする真空乾燥装置を提案している。
`【００２０】
` 真空乾燥の完了後の被乾燥物は、所定環境に配置されている期間に、被乾燥物の材質に
`応じて吸湿する。そこで、この発明によれば、（３）または（４）の真空乾燥装置におい
`て、所定環境における露点での飽和水蒸気圧よりどれだけ低い圧力に目標圧力を設定する
`のかを、被乾燥物の材質に応じて決定することとした。このため、所定環境における被乾
`燥物の吸湿性に応じて、目標圧力を設定することができる。
`【００２１】
` （６） 本発明は、（１）から（５）のいずれか１つの真空乾燥装置について、前記判
`定手段は、前記圧力測定手段により測定された圧力に基づいて、前記真空乾燥装置の異常
`検出を行い、当該異常があると判定した場合には、異常を指示する出力を行うことを特徴
`とする真空乾燥装置を提案している。
`【００２２】
` この発明によれば、（１）から（５）のいずれか１つの真空乾燥装置において、判定手
`段により、圧力測定手段により測定された圧力に基づいて、真空乾燥装置の異常検出を行
`い、異常であると判定した場合には、異常を指示する出力を行うこととした。このため、
`真空乾燥の完了を判定しつつ、真空乾燥装置の異常を検出して出力することができる。
`【００２３】
` （７） 本発明は、（１）から（６）のいずれか１つの真空乾燥装置について、前記被
`乾燥物は、電池電極であることを特徴とする真空乾燥装置を提案している。
`【００２４】
` この発明によれば、（１）から（６）のいずれか１つの真空乾燥装置において、被乾燥
`物は、電池電極であることとした。このため、電池電極の乾燥不足の発生を抑制すること
`ができる。
`【００２５】
` （８） 本発明は、（１）から（７）のいずれか１つの真空乾燥装置と、当該真空乾燥
`装置による真空乾燥の完了後に前記被乾燥物が配置されるドライルーム（例えば、図１の
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`ドライルーム２に相当）と、を備える真空乾燥システム（例えば、図１の真空乾燥システ
`ムＡＡに相当）であって、前記判断手段により前記被乾燥物の真空乾燥が完了したと判断
`された後に、当該被乾燥物を前記乾燥炉から前記ドライルームに移送することを特徴とす
`る真空乾燥システムを提案している。
`【００２６】
` この発明によれば、（１）から（７）のいずれか１つの真空乾燥装置と、この真空乾燥
`装置による真空乾燥の完了後に被乾燥物が配置されるドライルームと、を備える真空乾燥
`システムにおいて、判断手段により被乾燥物の真空乾燥が完了したと判断された後に、こ
`の被乾燥物を乾燥炉からドライルームに移送することとした。このため、乾燥炉からドラ
`イルームに被乾燥物を移送した後に、真空乾燥装置により、新たな被乾燥物に対する真空
`乾燥を行うことができる。
`【００２７】
` （９） 本発明は、乾燥炉（例えば、図１の乾燥炉１１に相当）内に配置された被乾燥
`物（例えば、後述の電池電極に相当）を真空乾燥させる真空乾燥方法であって、前記乾燥
`炉内の圧力を測定する第１のステップと、前記第１のステップにより測定された圧力が予
`め定められた目標圧力以下または当該目標圧力未満まで低下したか否かを判定する第２の
`ステップと、前記第１のステップにより測定された圧力が前記目標圧力以下または当該目
`標圧力未満まで低下したと前記第２のステップで判定された後に、予め定められた第１の
`時間に亘って真空乾燥を継続させる第３のステップと、前記第１の時間が経過した後に、
`前記乾燥炉内の圧力を測定する第４のステップと、前記第４のステップにより測定された
`圧力が前記目標圧力以下または当該目標圧力未満まで低下したか否かを判定する第５のス
`テップと、前記第４のステップにより測定された圧力が前記目標圧力以下または当該目標
`圧力未満まで低下したと前記第５のステップで判定されると、前記被乾燥物の真空乾燥が
`完了したと判断する第６のステップと、前記第６のステップにより真空乾燥が完了したと
`判断された被乾燥物を、所定環境に調整された領域（例えば、図１のドライルーム２に相
`当）に前記乾燥炉から移送する第７のステップと、を備えることを特徴とする真空乾燥方
`法を提案している。
`【００２８】
` この発明によれば、上述した効果と同様の効果を奏することができる。
`【００２９】
` （１０） 本発明は、（９）の真空乾燥方法について、前記被乾燥物の真空乾燥を開始
`してからの時間を測定する第８のステップをさらに備え、前記第８のステップにより測定
`された時間が予め定められた第２の時間を経過するまでの期間では、前記第２のステップ
`による判定を休止することを特徴とする真空乾燥方法を提案している。
`【００３０】
` この発明によれば、上述した効果と同様の効果を奏することができる。
`【００３１】
` （１１） 本発明は、（９）または（１０）の真空乾燥方法について、前記所定環境に
`おける露点での飽和水蒸気圧より低い圧力を前記目標圧力として設定することを特徴とす
`る真空乾燥方法を提案している。
`【００３２】
` この発明によれば、上述した効果と同様の効果を奏することができる。
`【００３３】
` （１２） 本発明は、（１１）の真空乾燥方法について、前記所定環境における露点（
`摂氏）をｔとするとともに、予め定められた定数をａ、ｂとすると、前記所定環境におけ
`る露点での飽和水蒸気圧ｅを以下の数式（２）で求めることを特徴とする真空乾燥方法を
`提案している。
`【００３４】
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`【数２】
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`
`【００３５】
` この発明によれば、上述した効果と同様の効果を奏することができる。
`【００３６】
` （１３） 本発明は、（１１）または（１２）の真空乾燥方法について、前記所定環境
`における露点での飽和水蒸気圧よりどれだけ低い圧力に前記目標圧力を設定するのかを、
`前記被乾燥物の材質に応じて決定することを特徴とする真空乾燥方法を提案している。
`【００３７】
` この発明によれば、上述した効果と同様の効果を奏することができる。
`【００３８】
` （１４） 本発明は、（９）から（１３）のいずれか１つの真空乾燥方法について、前
`記第２のステップにおいて、前記第１のステップにより測定された圧力に基づいて、前記
`被乾燥物を真空乾燥させる真空乾燥装置の異常検出を行うことを特徴とする真空乾燥方法
`を提案している。
`【００３９】
` この発明によれば、上述した効果と同様の効果を奏することができる。
`【００４０】
` （１５） 本発明は、（９）から（１４）のいずれか１つの真空乾燥方法について、前
`記被乾燥物は、電池電極であることを特徴とする真空乾燥方法を提案している。
`【００４１】
` この発明によれば、上述した効果と同様の効果を奏することができる。
`【００４２】
` （１６） 本発明は、乾燥炉（例えば、図１の乾燥炉１１に相当）内に配置された電池
`電極を真空乾燥させる電池電極の製造方法であって、前記乾燥炉内の圧力を測定する第１
`のステップと、前記第１のステップにより測定された圧力が予め定められた目標圧力以下
`または当該目標圧力未満まで低下したか否かを判定する第２のステップと、前記第１のス
`テップにより測定された圧力が前記目標圧力以下または当該目標圧力未満まで低下したと
`前記第２のステップで判定された後に、予め定められた第１の時間に亘って真空乾燥を継
`続させる第３のステップと、前記第１の時間が経過した後に、前記乾燥炉内の圧力を測定
`する第４のステップと、前記第４のステップにより測定された圧力が前記目標圧力以下ま
`たは当該目標圧力未満まで低下したか否かを判定する第５のステップと、前記第４のステ
`ップにより測定された圧力が前記目標圧力以下または当該目標圧力未満まで低下したと前
`記第５のステップで判定されると、前記電池電極の真空乾燥が完了したと判断する第６の
`ステップと、前記第６のステップにより真空乾燥が完了したと判断された電池電極を、所
`定環境に調整された領域（例えば、図１のドライルーム２に相当）に前記乾燥炉から移送
`する第７のステップと、を備えることを特徴とする電池電極の製造方法を提案している。
`【００４３】
` この発明によれば、電池電極を製造する際に、上述した効果と同様の効果を奏すること
`ができる。
`【発明の効果】
`【００４４】
` 本発明によれば、真空乾燥を最適な状態で完了させることができる。
`【図面の簡単な説明】
`【００４５】
`【図１】本発明の第１実施形態に係る真空乾燥装置のブロック図である。
`【図２】温度および圧力に応じて変化する水の状態を示す図である。
`【図３】本発明の第２実施形態に係る真空乾燥装置のブロック図である。
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`【発明を実施するための形態】
`【００４６】
` 以下、本発明の実施形態について、図面を用いて、詳細に説明する。なお、以下の実施
`形態における構成要素は適宜、既存の構成要素などとの置き換えが可能であり、また、他
`の既存の構成要素との組み合わせを含む様々なバリエーションが可能である。したがって
`、以下の実施形態の記載をもって、特許請求の範囲に記載された発明の内容を限定するも
`のではない。
`【００４７】
`＜第１実施形態＞
` 図１は、本発明の第１実施形態に係る真空乾燥システムＡＡのブロック図である。真空
`乾燥システムＡＡは、電池電極を真空乾燥させる真空乾燥装置１と、真空乾燥装置１によ
`る真空乾燥の完了後に電池電極が配置されるドライルーム２と、を備える。
`【００４８】
` 真空乾燥装置１は、乾燥炉１１、圧力測定部１２、判定部１３、真空乾燥制御部１４、
`および判断部１５を備え、乾燥炉１１内に配置された電池電極を真空乾燥させて、電池電
`極に含まれる水分を除去する。
`【００４９】
` 圧力測定部１２は、乾燥炉１１の内部の圧力を測定する。
`【００５０】
` 判定部１３は、圧力測定部１２により測定された圧力が予め定められた目標圧力以下に
`なったか否かを判定する。上述の目標圧力の設定について、図２を用いて以下に詳述する
`
`。 【
`
`００５１】
` 図２に示すように、水は、温度および圧力に応じて状態が変化する。そこで、まず、真
`空乾燥の完了後に電池電極が配置されるドライルーム２における露点（摂氏）を以下の数
`式（３）のｔに代入して、ドライルーム２における露点での飽和水蒸気圧ｅを求める。な
`お、数式（３）において、ａおよびｂは、予め定められた定数であり、これら定数ａ、ｂ
`は、電池電極に含まれる水分が水である場合と氷である場合とでそれぞれ一意に定まる。
`【００５２】
`【数３】
`
`【００５３】
` なお、ドライルーム２では、移送された電池電極に水分が付着しないようにするため、
`ドライルーム２の露点に基づく閾値の設定が行われ、所望の露点を維持するように空調に
`よる環境調整が行われる。上述の数式（３）によれば、上述の閾値のベースとなる圧力が
`決まる。
`【００５４】
` 次に、ドライルーム２における露点での飽和水蒸気圧ｅより低い圧力を、上述の目標圧
`力として設定する。
`【００５５】
` ここで、まず、仮に、上述の目標圧力として、ドライルーム２における露点での飽和水
`蒸気圧ｅより高い圧力を設定した場合と、ドライルーム２における露点での飽和水蒸気圧
`ｅを設定した場合と、について以下に検討する。これらの場合、乾燥炉１１内の圧力がド
`ライルーム２における露点での飽和水蒸気圧ｅ以上である状態で、電池電極の真空乾燥が
`完了したと判定されることなり、乾燥不足となってしまう。
`【００５６】
` 次に、仮に、ドライルーム２における露点での飽和水蒸気圧ｅよりも過度に低い圧力を
`、上述の目標圧力として設定した場合について、以下に検討する。この場合、過乾燥とな
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`り、電池電極に含まれる水分は、目標圧力を適切に設定した場合と比べて少なくなる。し
`かし、真空乾燥の完了後にこの電池電極をドライルーム２に配置すると、ドライルーム２
`における飽和水蒸気圧で平衡する量の水分を電池電極が含んでいる状態になるまで、電池
`電極が吸湿してしまう。このため、ドライルーム２における露点での飽和水蒸気圧ｅより
`も過度に低い圧力を目標圧力とした場合、ドライルーム２における露点での飽和水蒸気圧
`より低い適切な圧力を目標圧力とした場合と比べて、真空乾燥の処理に無駄が生じること
`になってしまう。
`【００５７】
` ただし、電池電極の吸湿性は、電池電極の材質に応じて異なる。このため、ドライルー
`ム２における露点での飽和水蒸気圧ｅに対してどれだけ低い圧力を、上述の目標圧力とし
`て設定するのかは、電池電極の材質に応じて定めることが好ましい。
`【００５８】
` 図１に戻って、真空乾燥制御部１４は、圧力測定部１２により測定された圧力が上述の
`目標圧力以下になったと判定部１３により判定された後に、予め定められた第１の時間に
`亘って真空乾燥を継続させる。なお、第１の時間は、予め定められた固定値であってもよ
`いし、適宜定められる可変値であってもよい。
`【００５９】
` まず、第１の時間を固定値とする場合について、以下に説明する。例えば、目標圧力の
`設定精度が予め定められた精度以上である場合や、電池電極の乾燥しやすさの度合いが予
`め定められた度合い以上である場合には、第１の時間を短く設定し、目標圧力の設定精度
`が予め定められた精度よりも低い場合や、電池電極の乾燥しやすさの度合いが予め定めら
`れた度合い未満である場合には、第１の時間を長く設定することとしてもよい。また、例
`えば、目標圧力の設定精度が高くなるに従って、第１の時間を短く設定してもよい。また
`、例えば、電池電極の乾燥しやすさの度合いが高くなるに従って、第１の時間を短く設定
`してもよい。
`【００６０】
` 次に、第１の時間を可変値とする場合について、以下に説明する。例えば、真空乾燥を
`開始してから圧力測定部１２により測定された圧力が目標圧力以下になったと判定部１３
`で判定されるまでの時間が予め定められた時間以上である場合には、乾燥不足となるのを
`避けるために、第１の時間を長く設定し、真空乾燥を開始してから圧力測定部１２により
`測定された圧力が目標圧力以下になったと判定部１３で判定されるまでの時間が予め定め
`られた時間未満である場合には、過乾燥となるのを避けるために、第１の時間を短く設定
`してもよい。また、例えば、真空乾燥を開始してから圧力測定部１２により測定された圧
`力が目標圧力以下になったと判定部１３で判定されるまでの時間が長くなるに従って、上
`述の第１の時間を長く設定してもよい。
`【００６１】
` 判断部１５は、第１の時間が経過した後に圧力測定部１２により測定された圧力が、上
`述の目標圧力以下であると判定部１３により判定されると、電池電極の真空乾燥が完了し
`たと判断する。判断部１５により真空乾燥が完了したと判断されると、真空乾燥装置１は
`、乾燥炉１１内に配置されている電池電極に対する真空乾燥を終了し、乾燥炉１１からド
`ライルーム２に電池電極を移送する。
`【００６２】
` 以上の真空乾燥システムＡＡや真空乾燥装置１によれば、以下の効果を奏することがで
`きる。
`【００６３】
` 真空乾燥システムＡＡは、判断部１５により電池電極の真空乾燥が完了したと判断され
`た後に、この電池電極を乾燥炉１１からドライルーム２に移送する。このため、乾燥炉１
`１からドライルーム２に電池電極を移送した後に、真空乾燥装置１により、新たな電池電
`極に対する真空乾燥を行うことができる。
`【００６４】
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` 真空乾燥装置１は、圧力測定部１２により、乾燥炉１１内の圧力を測定するとともに、
`判定部１３により、圧力測定部１２により測定された圧力が目標圧力以下になったか否か
`を判定し、真空乾燥制御部１４により、圧力測定部１２により測定された圧力が目標圧力
`以下になったと判定部１３により判定された場合に、第１の時間に亘って真空乾燥を継続
`させる。このため、乾燥炉１１内の圧力が目標圧力以下になったと判定された後も、第１
`の時間に亘って真空乾燥が継続されるので、目標圧力の設定精度に大きく左右されること
`なく、乾燥不足の発生を抑制することができる。
`【００６５】
` また、真空乾燥装置１は、第１の時間を設定することで、真空乾燥を行っている時間が
`過度に長期化してしまうのを防止して、過乾燥の発生を抑制することができる。
`【００６６】
` また、真空乾燥装置１は、判断部１５により、第１の時間が経過した後に圧力測定部１
`２により測定された圧力が、目標圧力以下であると判定部１３により判定されると、電池
`電極の真空乾燥が完了したと判断する。このため、第１の時間に亘って真空乾燥が継続さ
`れている期間において、不測の事態により乾燥不足の状態に電池電極がなってしまった際
`には、電池電極の真空乾燥が完了していないと判断することができ、乾燥不足であるにも
`かかわらず真空乾燥が完了したと誤って判断してしまうのを防止することができる。
`【００６７】
` また、真空乾燥装置１は、判定部１３により、ドライルーム２における露点での飽和水
`蒸気圧より低い圧力を目標圧力として設定する。このため、真空乾燥の完了の判断基準と
`なる目標圧力の設定精度を向上させることができるので、乾燥不足の発生をより確実に抑
`制することができるとともに、真空乾燥を継続させる第１の時間を短縮することができる
`
`。 【
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`００６８】
` また、目標圧力を適宜設定する手順と、真空乾燥完了後の被乾燥物に含まれる水分量を
`測定したり被乾燥物の性能を評価したりする手順と、を繰り返すことによって、目標圧力
`の最適値を見つけることが考えられる。そこで、真空乾燥装置１は、ドライルーム２にお
`ける露点での飽和水蒸気圧より低い圧力を目標圧力として設定する。このため、目標圧力
`の最適値を見つける際に、ドライルーム２における露点での飽和水蒸気圧を目安として目
`標圧力の初期値を設定することができる。したがって、目安がない状態で目標圧力の初期
`値を設定する場合と比べて適切な値を、目標圧力の初期値として設定することができるの
`で、上述の２つの手順を繰り返す回数を減少させることができ、目標圧力の最適値を短時
`間で見つけることができる。
`【００６９】
` また、真空乾燥装置１は、上述の数式（１）により、ドライルーム２における露点での
`飽和水蒸気圧を、複雑な方法を用いることなく求めることができる。
`【００７０】
` また、真空乾燥装置１は、ドライルーム２における露点での飽和水蒸気圧よりどれだけ
`低い圧力に目標圧力を設定するのかを、電池電極の材質に応じて決定する。このため、ド
`ライルーム２における電池電極の吸湿性に応じて、目標圧力を設定することができる。
`【００７１】
` なお、リチウムイオン電池のような二次電池の電極は、金属箔（アルミや銅）上に電極
`活物質層を有する構成となっており、その製造工程において、金属箔上に電極活物質スラ
`リーを塗布した後に真空乾燥処理を施すことで、電極から水分が除去される。電極が充分
`に乾燥していないと、二次電池として所望の性能を実現することができないため、充分な
`乾燥を確実に行う必要がある。このため、二次電池の電極を真空乾燥させる際に、真空乾
`燥装置１は好適である。
`【００７２】
` また、上述の電極活物質には、吸湿性の高い材料が用いられることがある。このため、
`二次電池の電極を真空乾燥させる際に、真空乾燥の完了後に電池電極をドライルーム２に
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`配置する真空乾燥システムＡＡは好適である。
`【００７３】
`＜第２実施形態＞
` 図３は、本発明の第２実施形態に係る真空乾燥システムＢＢのブロック図である。真空
`乾燥システムＢＢは、図１に示した本発明の第１実施形態に係る真空乾燥システムＡＡと
`は、真空乾燥装置１の代わりに真空乾燥装置１Ａを備える点で異なる。なお、真空乾燥シ
`ステムＢＢにおいて、真空乾燥システムＡＡと同一構成要件については、同一符号を付し
`、その説明を省略する。
`【００７４】
` 真空乾燥装置１Ａは、乾燥炉１１、圧力測定部１２、判定部１３Ａ、真空乾燥制御部１
`４、判断部１５、および計時部１６を備え、乾燥炉１１内に配置された電池電極を真空乾
`燥させて、電池電極に含まれる水分を除去する。
`【００７５】
` 計時部１６は、電池電極の真空乾燥を開始してからの時間を測定する。
`【００７６】
` 判定部１３Ａは、判定部１３と同様に、圧力測定部１２により測定された圧力が予め定
`められた目標圧力以下になったか否かを判定する。ただし、計時部１６により測定された
`時間が予め定められた第２の時間を経過するまでの期間では、判定部１３Ａは、圧力測定
`部１２により測定された圧力が予め定められた目標圧力以下になったか否かの判定を休止
`する。このため、判定部１３Ａによる上述の判定は、電池電極の真空乾燥を開始してから
`第２の時間が経過した後に、開始されることになる。
`【００７７】
` また、判定部１３Ａは、圧力測定部１２により測定された圧力に基づいて、真空乾燥装
`置１Ａの異常検出を行い、異常があると判定した場合には、異常を指示する出力を行う。
`具体的には、圧力測定部１２により測定された圧力が、予め定められた上限圧力より高い
`か、または予め定められた下限圧力より低い場合に、判定部１３Ａは、真空乾燥装置１Ａ
`に異常が発生していると判定し、異常発生を報知する信号を出力する。
`【００７８】
` 以上の真空乾燥装置１Ａによれば、真空乾燥装置１が奏することのできる上述の効果に
`加えて、以下の効果を奏することができる。
`【００７９】
` 真空乾燥装置１Ａは、計時部１６により、電池電極の真空乾燥を開始してからの時間を
`測定し、計時部１６により測定された時間が第２の時間を経過するまでの期間では、判定
`部１３Ａによる判定を休止する。このため、第２の時間を設定することで、電池電極の真
`空乾燥が完了していないことが確実に分かっている期間では、判定部１３Ａによる判定を
`休止することができる。
`【００８０】
` また、真空乾燥装置１Ａは、判定部１３Ａにより、圧力測定部１２により測定された圧
`力に基づいて、真空乾燥装置１Ａの異常検出を行い、異常であると判定した場合には、異
`常を指示する出力を行う。このため、真空乾燥の完了を判定しつつ、真空乾燥装置１Ａの
`異常を検出して出力することができる。
`【００８１】
` 以上、この発明の実施形態につき、図面を参照して詳述してきたが、具体的な構成はこ
`の実施形態に限られるものではなく、この発明の要旨を逸脱しない範囲の設計なども含ま
`れる。
`【００８２】
` 例えば、上述の各実施形態では、真空乾燥の完了を判定する対象を電池電極としたが、
`これに限らない。
`【００８３】
` また、上述の各実施形態では、判定部１３、１３Ａは、圧力測定部１２により測定され
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`た圧力が目標圧力以下になったか否かを判定するものとした。しかし、これに限らず、判
`定部１３、１３Ａは、圧力測定部１２により測定された圧力が目標圧力未満になったか否
`かを判定するものとしてもよい。
`【符号の説明】
`【００８４】
` ＡＡ、ＢＢ；真空乾燥システム
` １、１Ａ；真空乾燥装置
` ２；ドライルーム
` １１；乾燥炉
` １２；圧力測定部
` １３、１３Ａ；判定部
` １４；真空乾燥制御部
` １５；判断部
` １６；計時部
`
`10
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`【図１】
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`【図２】
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`【図３】
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